Cleanroom-Rotomat voor de waferproductie

Op de locatie in Lenzburg optimaliseert ABB de halffabricaten voor elektronische halfgeleidercomponenten zelfs in de cleanroom, met een geautomatiseerde omloopstelling.

Geautomatiseerde picksystemen worden steeds onmisbaarder. In Lenzburg comprimeert een door Hänel speciaal voor de cleanroom ontwikkelde Hänel Rotomat® paternosterkast de opslagruimte.
Binnen de energie- en automatiseringstechnologie is het assortiment van de ABB-producten enorm. Het concern ontwikkelt en produceert onder andere producten van hoogspanningsschakelapparatuur tot microscopische hoogwaardige halfgeleiders. In Lenzburg ontwikkelt, produceert en verkoopt ABB elektriciteitsnetsystemen, semiconductors en hoogwaardige halfgeleiders.

Geen bramen en spleten

De belangrijkste taak in de cleanroom is het voorkomen van de adhesie van deeltjes onder alle bedrijfsomstandigheden. ABB-procesingenieur Eustachio Faggiano: «De door Hänel speciaal voor de cleanroom ontwikkelde omloopstelling heeft geen bramen en spleten. De oppervlakken zijn glad en kunnen eenvoudig worden gereinigd met isopropanol-oplossingen.»

Faggiano is de verantwoordelijke manager voor de in de cleanroom geïnstalleerde magazijnlift Hänel Rotomat® CleanStore die aan de cleanroomklasse 5 conform DIN EN ISO 14644-1 met filterklasse HEPA H14 voldoet.

Zelfs het optekenen van de meetwaarden is door middel van dataloggers mogelijk. Hänel ontwikkelde het hightech-magazijn als een autonoom systeem. Door de dubbelwandige uitvoering wordt de lucht in een filter direct in de omloopstelling gereinigd. Zo kunnen er geen deeltjes in de cleanroom terechtkomen. Faggiano: «Na het laden van de kalottendragers met wafers worden deze in de Hänel Rotomat® CleanStore net zo lang opgeslagen tot ze in de verdampingsinstallatie worden gebruikt. In de tussentijd mogen de wafers niet in contact komen met deeltjes.»

Ook de lege kalotten mogen niet door stofdeeltjes verontreinigd raken. Daarom worden deze eveneens in de omloopstelling opgeslagen. De ruimtebesparende Hänel Rotomat® CleanStore wordt zowel binnen de elektronica- en halfgeleiderindustrie alsook in de medische techniek gebruikt. Bij ABB werden de wafer-kalotten eerst in een conventionele stelling opgeslagen.